CDU智能液桶
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32BF-4M5L精密双面平面研磨机
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产品编号
数量
-
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库存:
0
产品描述
参数
一、产品用途
主要用于半导体、蓝宝石、玻璃、陶瓷片、晶体材料及其他硬脆材料的高精度双面研磨，尤其对于超薄工件的加工具有明显的优势。
二、安装条件
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序号 |
项目 |
指标要求 |
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1 |
环境 |
室内地面平坦、无振动源、无灰尘烟雾污染 |
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2 |
水源 |
纯水或自来水 |
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3 |
电源 |
约70kW AC380V 50Hz（总功率） |
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4 |
气源 |
压缩空气源 0.6Mpa，接口φ16mm（外径） |
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5 |
温度 |
10℃-25℃ |
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6 |
相对湿度 |
≤95% |
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7 |
外形尺寸（长x宽x高） |
3700x3000x4100mm（含地脚高度及电器柜尺寸） |
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8 |
主机重量 |
28000Kg |
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9 |
主机颜色 |
BH白或订制 |
三、主要特点
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序号 |
项目 |
特点 |
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1 |
压力控制 |
运动控制器+压力传感器+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力控制，上盘最大使用压力1200Kg，精度可达2% |
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2 |
上盘调心 |
采用万向节结构，调心灵活，承载力高 |
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3 |
上盘防落装置 |
双重机械锁定，安全性更高 |
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4 |
高精度速度控制 |
自编程实现低速平稳、启停同步运转控制，内外齿圈采用伺服控制，速度控制更精准 |
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5 |
精密传动系统 |
高精度小齿隙全齿轮传动 |
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6 |
下盘支撑 |
高精度流体轴承支撑 |
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7 |
免维护设计 |
齿轮采用自动集中润滑装置，关键器件采用进口知名品牌，轴承留有润滑接口 |
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8 |
强制散热系统 |
轴流风机排热方式，并预留抽风接口，用户可自行连接 |
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9 |
清洗便捷 |
低台面、半裸式接液盆 |
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10 |
同步升降 |
齿圈太阳轮同步升降，采用伺服电机拖动，可自动或手动调节高度，延长使用寿命 |
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11 |
游轮精确定位 |
齿圈太阳轮采用伺服电机拖动，可实现游轮的精确定位 |
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12 |
水液分离装置 |
水液切换程序控制，自动分离，操作便捷，清洗水可自动排放 |
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13 |
整机减振 |
防振式结构设计安装，设备更稳定 |
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14 |
防护设计 |
齿圈、太阳轮采用不锈钢制作，接液盆，托盘、抛盘等接触到工作液的地方均喷涂特氟龙 |
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15 |
供液系统 |
桶体设有排污口，具备温度、液位监测，具有加热和冷却功能，具有液泵和搅拌泵，出口设有过滤器，管路设有流量监测，能在线实时检测流量 |
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16 |
自动测厚 |
设备装有机械测厚系统，能在线实时检测工件加工厚度 |
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17 |
分级管理 |
密码分级管理，不同人员具有不同的操作权限 |
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18 |
工艺适用性 |
程序控制 |
可储存多套工艺参数，每套工艺可达20步，工艺参数设置包括（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等） |
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速比搭配 |
四电机独立同步拖动，上下盘、内齿、外齿（即可正转，也可反转）转速可任意设定，具有配方功能 |
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