CDU智能液桶
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13BF-3M9L精密双面平面研磨机 /13BF-3M9P精密双面平面抛光机
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产品描述
参数
一、主要用途
主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光,尤其适用于超薄工件的加工。
二、产品特点
1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命维护便捷;
6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设足,县有配方功能
三、技术参数
序号 | 项目 | 规格参数 | ||
1 | 下盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ568mm×50mm(研磨) | |
Φ960mm×Φ560mm×50mm(抛光) | ||||
转速 | 3-45 rpm | |||
驱动电机 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
2 | 上盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ568mm×50mm(研磨) | |
Φ960mm×Φ560mm×50mm(抛光) | ||||
转速 | 3-30 rpm | |||
驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
3 | 游星轮 | 参数 | 节距:15.7 Z=46 | |
数量 | 9个 | |||
4 | 太阳轮 | 转速 | 0-20 rpm | |
驱动电机 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.015mm | |
下盘端跳 | ≤0.02mm | |||
6 | 加工范围 | 最大加工尺寸 | Φ180mm | |
最小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片) | |||
整盘承载量 | 8×9=72片(2" 圆片) | |||
7 | 水源 | 纯水或自来水 | ||
8 | 电源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz | |
线缆规格 | 三相五线刮.3×4mm²+2×2.5mm² | |||
9 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa | |
接管口径 | 接口Φ10mm(外径) | |||
10 | 外形尺寸 | 长×宽×高:1650mm×1300mm×2500mm | ||
11 | 重量 | 约3000Kg |
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