CDU智能液桶
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S-16BF-2M5P精密双面平面抛光机
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产品描述
参数
一、产品用途
光学玻璃、陶瓷、电子材料及硅片、锗片、计算机磁盘基片等金属、非金属等硬脆材料的双面高精度抛光加工，尤其适用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密抛光加工。
二、主要特点
1.压力精密控制：PLC+PT +低摩擦气缸实现精密压力控制;
2.上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;
3.精密传动系统：高精度全齿轮传动，高精度轴承支撑;
4.下盘支撑：高精度结构轴承支撑，提高设备的精度和运行平稳性;
5.免维护：关键器件采用国产品牌，冗余设计安全系数大;
6.强制散热系统：采用轴流风机排热方式，并预留抽风接口，用户可自行连接
7.操作便捷：低台面、半裸式接液盆便于清洗;下盘具有气动升降功能，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求
三、技术参数
| 序号 | 项目 | 规格参数 | |
| 1 | 下抛盘 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 转速 | 3-60rpm | ||
| 2 | 上抛盘 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 3 | 上下盘驱动电机 | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm（变频控制） | |
| 4 | 太阳轮驱动电机 | 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm（变频控制） | |
| 5 | 游星轮 | 参数 | 英制：DP12 Z=200 α=20° |
| 数量 | 5个 | ||
| 6 | 供液装置 | 搅拌电机 | 120W，AC380V |
| 供液泵 | 1/4HP 容积约40L（双层） | ||
| 7 | 精度指标 | 下抛盘端面跳动 | ≤0.05mm |
| 上、下抛盘平面度 | ≤0.02mm | ||
| 8 | 水源 | 纯水或自来水 | |
| 9 | 电源 | 18.5kW AC380V 50Hz（总功率） | |
| 10 | 线缆规格 | 三相五线制．3×6mm²+2×4mm² | |
| 11 | 气源 | 压缩空气源 0.5-0.6Mpa，接口φ10mm（外径） | |
| 12 | 外形尺寸 | 宽x长x高：1550mm×2000mm×2740mm | |
| 13 | 重量 | 约5500Kg | |
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