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S-16BF-2M5P精密双面平面抛光机

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S-16BF-2M5P精密双面平面抛光机

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产品描述
参数

  一、产品用途

  光学玻璃、陶瓷、电子材料及硅片、锗片、计算机磁盘基片等金属、非金属等硬脆材料的双面高精度抛光加工,尤其适用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密抛光加工。

  二、主要特点

  1.压力精密控制:PLC+PT +低摩擦气缸实现精密压力控制;

  2.上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式;

  3.精密传动系统:高精度全齿轮传动,高精度轴承支撑;

  4.下盘支撑:高精度结构轴承支撑,提高设备的精度和运行平稳性;

  5.免维护:关键器件采用国产品牌,冗余设计安全系数大;

  6.强制散热系统:采用轴流风机排热方式,并预留抽风接口,用户可自行连接

  7.操作便捷:低台面、半裸式接液盆便于清洗;下盘具有气动升降功能,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求

  三、技术参数

序号 项目 规格参数
1 下抛盘 尺寸 φ1155mm×φ348mm×50mm
转速 3-60rpm
2 上抛盘 尺寸 φ1155mm×φ348mm×50mm
3 上下盘驱动电机 15kW AC380V 50Hz 1460rpm(变频控制)
4 太阳轮驱动电机 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm(变频控制)
5 游星轮 参数 英制:DP12 Z=200 α=20°
数量 5个
6 供液装置 搅拌电机 120W,AC380V
供液泵 1/4HP 容积约40L(双层)
7 精度指标 下抛盘端面跳动 ≤0.05mm
上、下抛盘平面度 ≤0.02mm
8 水源 纯水或自来水
9 电源 18.5kW AC380V 50Hz(总功率)
10 线缆规格 三相五线制.3×6mm²+2×4mm²
11 气源 压缩空气源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外径)
12 外形尺寸 宽x长x高:1550mm×2000mm×2740mm
13 重量 约5500Kg

 

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