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18BF-4M9L精密双面平面研磨机/ 18BF-4M9P精密双面平面抛光机
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产品描述
参数
一、主要用途
主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光。
二、产品特点
1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置:动静态均适用的减震弹性连接方式;
3、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;
4、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷;
5、上、下盘水冷系统:上、下盘采用水冷结构,进行温度控制实现大压力加工;
6、上盘压力:最大1000kg;
7、传动系统:四电机同步拖动,上下盘、内齿、外齿、(即可正转,也可反转)转速可任意设定,县有配方功能。
三、技术参数
序号 | 项目 | 规格参数 | ||
1 | 下盘 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
Φ12660mm×Φ700mm×90mm(抛光) | ||||
转速 | 5-70 rpm | |||
驱动电机 | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
2 | 上盘 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
Φ1260mm×Φ700mm×90mm(抛光) | ||||
转速 | 3-40 rpm | |||
驱动电机 | 11kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
3 | 游星轮 | 参数 | 节距:15.7 Z=64 | |
数量 | 9个 | |||
4 | 太阳轮 | 转速 | 3-35 rpm | |
驱动电机 | 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
5 | 齿圈 | 转速 | 3-35 rpm | |
驱动电机 | 4kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
升降电机 | 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
升降行程 | 30mm | |||
6 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.02mm | |
下盘端跳 | ≤0.03mm | |||
7 | 加工范围 | 最大加工尺寸 | Φ280mm | |
最小加工厚度 | 0.20mm(≤2"片) | |||
整盘承载量 | 18×9=162片(2" 圆片) | |||
8 | 水源 | 纯水或自来水 | ||
9 | 电源 | 功率 | 34kW AC380V 50Hz | |
线缆规格 | 三相五线刮.3×10mm²+2×6mm² | |||
10 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa | |
接管口径 | 接口Φ10mm(外径) | |||
11 | 外形尺寸 | 长×宽×高:2100mm×1600mm×3013mm(含地脚80) | ||
12 | 重量 | 约7500Kg |
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