WEP150边缘抛光机
用途：适用于碳化硅、硅、蓝宝石等半导体材料晶圆边缘抛光，可对晶圆V-notch、FG-A面、TOP面、CF-B面高效率的抛光加工
关键词：单双面研磨、抛光设备
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