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BTR-520智能上下料机

用途：用于蓝宝石、半导体等行业抛光研磨工艺用陶瓷盘自动上、下料，适用于DMP、CMP工艺。自动化本体结构采用左右对称结构，即一套自动化设备对应二台抛光主机；

关键词：单双面研磨、抛光设备

所属分类：

非标产品

服务支持：

0512-65486261

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  • 产品描述

  • 项目

    精度指标

    备注

    上、下料单循环节拍(min)

    5min/run 

    单run上、下料时间

    适用于陶瓷盘（mm）

    ≤直径φ520x20（厚度）

     

    扫码头读码尺寸范围(mm)

    70x50区域

     

    Up Time

    ≥99%

    计算方法：(总时间-down机时间)/总时间)

    异常报警频率

    ≤0.5%

    计算方法：异常报警次数/加工盘数

    MTBF(平均故障间隔时间）

    ≥1200小时

     

    MTTR(平均修复时间）

    ≤2小时（厂内有备品的情况下）

     

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BTR360智能上下料机

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